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斯坦顿身为阿贡国家实验室光子学团队负责人,在高次谐波与短波光源实验这个领域中,可以说已经奉献了大半职业生涯。
要单论经验,绝对称得上全球顶尖专家。
也正因如此,他才更加清楚,获得稳定可控的193纳米相干输出究竟有多复杂。
对于大量成熟制程使用的深紫外光刻系统,193纳米光源可以说是必不可少的核心。
没有波长、功率、线宽和稳定性均达标的输出,就无法让晶圆产线持续曝光。
尽管相关物理原理并非秘密,但关键仍在于能不能把工业光源真正做出来。
就像是篮球规则都写在网上,能不能打进NBA全看个人实力了。
而李傲借助拓扑光子界面模—二维等离激元强耦合模型,提出了一种模块化相干短波光源设想。
相当于另辟蹊径。
只要能完成原理验证,他们便有机会得到不依赖传统放电腔的193纳米相干输出。
进而向13.5纳米的极紫外光源发起冲击。
简单来说,晶圆厂等芯片加工制造企业所用主流光源的供应链,已被Cymer和ASML体系牢牢控制。
导致美利坚芯片制造企业难以摆脱对单一海外供应商的依赖。
在这种情况下,李傲却找到了一条可以模块化扩展的新路,甚至有望绕开复杂的准分子放电腔,对光刻光源进行更新换代,所具有的意义可想而知。
不过斯坦顿在今天之前,想的都是大家先坐在一起,对李傲的设想逐项完善,并尽可能查漏补缺,也好减少首轮原理实验的试错成本。
毕竟从一项大胆的理论设想,到获得可重复的短波输出,中间往往需要不少时间。
但他万万没想到,看完李傲带来的分阶段方案后,整个人直接就被震惊住,再次对真正的天才有了直观体验。
李傲仅用短短几天时间,便独自补全了关键推导、材料制备和实验方案,相当于直接拿出了一份成熟的技术报告。
面对摆在眼前的事实,斯坦顿回顾过往,发现自己遇到的那些所谓天才,和李傲竟没有可比性。
怪不得对方能在数学与物理学界接连创造奇迹。
“原来真正的天才是这样的。”
心中暗自感慨一句后,他刚准备再开口,耳旁便又响起了哈特利的声音。
“Leo,你现在可是整个联合验证计划的主心骨。
“眼下工作才刚刚展开,必须注意身体,保证睡眠,多休息,劳逸结合才行,以后可不能再这么熬夜了。”
哈特利同样看出了这份文件的含金量,心里第一反应便是李傲肯定连续熬了几个通宵,否则实在难以想象这是几天内完成的成果。
外界都说,让李傲这个理论数学家担任工业光源计划的总架构师是白宫的宣传手段。
可现在看来,李傲拥有的工程实力,要比他在公众面前展现出来的强得多。
李傲把哈特利的话悉数听进耳中,知道对方是在关心自己的身体健康。
他当即微笑着接过话茬回应道:
“谢谢您的关心,哈特利博士,我会注意的。”
这些年,他几乎每天都有十八个小时以上处于高强度运转状态,除了学习与科研,还包括雷打不动的日常锻炼。
在【深度睡眠】和【持久耐力】词条的帮助下,虽只用了几天完善设想,真正投入的有效研究时间却比其他人多出许多。
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