一一中文网

手机浏览器扫描二维码访问

第1845章 总装台上的光斑（第2页）

与此同时，燕山百级洁净大厅内。

“准分子激光光源预热完毕，波长一百九十三纳米！”

技术员大声报数。

“光路净空良好，充氮保护舱气压正常！”

沈研究员迅速确认参数。

张红旗与李建国并肩站在总控台前。

“红旗，准备好了吗？”

李建国沉声询问。

张红旗平静而有力地下令：“赤乌零一号物镜总成，通电点亮！”

唐国维深吸一口气，重重合上了高压放电总开关。

“主放电电压两万八千伏，脉冲频率两百赫兹！”

操作员高声报数。

高能深紫外准分子激光管亮起刺目的幽蓝冷光。

激光束如同一支极细的神箭，笔直打入物镜第一道透镜组。

高纯度氟化钙晶体泛起冰蓝色的光晕。

穿透深蓝色的抗反射增透膜，高能光束在二十四块透镜之间逐级聚焦折射。

光能量监测屏幕上，二十四条绿色波形如排浪般接连跳跃升腾！

“第一组匀光透镜，透过率百分之九十九！”

唐国维双眼死死盯着示波器。

“第二组消像差双曲面镜，焦距偏离零点零一纳米！”

沈研究员大声补充。

“能量传导平稳，没有光斑发散！”

全场数百名科学家与老工匠屏住呼吸，车间内只听见激光脉冲规律的啪啪声。

激光穿透最后一枚高纯氟化钙凸透镜，投射在下方的晶圆载物台上。

涂布着太行零一号光刻胶的高纯硅片，散发着幽微光泽。

“光斑聚焦完成，全视场无像散！”

唐国维死死盯着焦面监控屏喊道。

载物台上的光斑极致凝结，没有任何彗差，没有任何枕形畸变。

“送显影轨道机，进行微观形貌复核！”

张红旗果断挥手。

两名特级实验员小心翼翼取出曝光硅片，送入洁净室侧翼的显影涂胶联动机。

化学显影在氮气舱内无声进行。

三分钟后。