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夜雨倾盆,狂暴的雨点如铁铳子般抽打着燕山中试基地的彩钢板屋顶。
二号密闭净化车间内灯火通明,排风管道与深冷水循环系统在重压下发出沉闷有力的震鸣。
唐国维推开暗室厚重的隔音门,脸色惨白地冲了出来。
他手里攥着几张刚冲洗出来的透射电镜扫描底片,快步冲到中央试验台前。
“红旗,张老,出大险情了!”
唐国维嗓门发紧。
张红旗正披着风衣站在原料桶旁,闻声稳步转过身:“出了什么状况?”
“极限曝光测试没撑住。”
唐国维将底片平铺在看片灯箱上,手指点着高倍放大的微观线宽。
“两千次深紫外激光连续轰击后,胶体边缘由于光致产酸发热,出现了零点五微米的微溶膨胀!”
张怀远正低头擦拭烧杯,闻言手猛地一抖,手里的玻璃棒险些脱手跌落。
“零点五微米?”
张怀远快步走近,厚底老花镜几乎贴在灯箱上。
“这等于是从纳米级精度直接退化成了烂泥巴!”
老人眼角剧烈抽动:“芯片电路线宽只要发生万分之二的微热形变,导线就会在显影时粘连短路,良品率直接跌穿百分之三十!”
车间一角,超微量分析天平的荧光屏在暗室中幽蓝跳动,显示着精确到十万分之一克的数字。
“光刻机曝光光源是高压充气激光器,每次充气维护成本一万八千元,容不得半点偏差。”
唐国维双眼熬得通红,声音透着焦灼:“在二百四十八纳米短波长激光下,光致产酸剂在后烘阶段不受控漂移,边缘完全塌陷了!”
唐国维咬牙补充:“距离部委审定会只剩三十六个小时,汉城要是咬住这一点,咱们会被一票否决!”
张红旗神色平静,俯身凝视着底片上模糊外扩的边缘。
“井壁没砌牢,提上来的水自然是浑的。”
张红旗语调沉稳如山,目光没有一丝慌乱:“既然井壁破了,把井壁彻底砌结实就是了。”
“怎么砌?”
唐国维苦涩叹气,“这是高分子聚合物热力学塌陷的国际难题,日韩用了整整八年才攻克!”
“他们用八年,咱们今晚就得啃下来!”
张怀远一把扯下搭在肩上的毛巾,狠抹了一把额头汗水。
“老头子十三年前在军工厂没认过输,今天更不可能向汉城低头!”
老人抓起铅笔,趴在实验台上飞快涂画苯环结构。
旁边的粗瓷大茶缸里,浓浓的苦丁茶早已凉透,表面结了一层暗褐色的茶垢。
张怀远七十二小时未合眼,双眼满是血丝,干裂的嘴唇不住颤抖。
“光刻胶就像一口微观有机深井,树脂是井石,产酸剂是泉水。”
张怀远在草稿纸上飞速演算,“井石要是松脱,泉水就会冲毁井基造成塌陷!”
老人重重点在分子链末端:“必须引入强极性耐高温的三氟甲磺酸盐,作为微观灰浆把井壁死死抹平封牢!”
“可国内根本没有这种现成原料。”
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